Wafer Strwythurol Silicon

Wafer Strwythurol Silicon

Mae'r gyfres wafferi silicon strwythurol hon wedi'i pheiriannu i ddarparu sylfaen fecanyddol ddigyfaddawd ar gyfer pensaernïaeth dyfeisiau cymhleth. Wedi'i optimeiddio ar draws y sbectrwm diwydiannol llawn o2-modfedd (50mm) i 12 modfedd (300mm), mae'r swbstradau hyn yn gweithredu fel gwesteiwr ffyddlondeb uchel, wedi'u cynllunio i liniaru ystumiad ffisegol a chynnal cydlyniad geometrig absoliwt yn yr amgylcheddau saernïo mwyaf heriol.

Ymwrthedd Anffurfiannau Uwch:Mae'r waffer wedi'i phensaernïo i wrthsefyll anffurfiad elastig a phlastig yn ystod trin robotig cyflym a chuddio gwactod manwl gywir. Mae'r anhyblygedd adeileddol hwn yn sicrhau bod dimensiynau critigol yn parhau'n gyfan, gan atal micro-rhyfeledd a all arwain at aliniad lithograffig neu fethiannau bondio.

Sefydlogrwydd Thermomecanyddol:Wedi'i gynllunio i oroesi cosbicyllidebau thermol, mae'r deunydd yn cynnal ei siâp a gwastadrwydd trwy gylchredau ailadroddus o ocsidiad tymheredd uchel ac anelio thermol cyflym (RTA). Trwy leihau slip dellt a straen a achosir gan thermol, mae'r swbstrad yn cefnogi cynhyrchu sefydlog ar gyferICs pŵer (IGBT/MOSFET) a MEMSdyfeisiau.

Ffyddlondeb Geometrig Cyson:Ein rheolaeth systematig drosAmrywiad Trwch Cyfanswm (TTV)ac mae paramedrau bwa/ystof yn sicrhau bod pob swp yn darparu ymddygiad strwythurol rhagweladwy. Mae'r cysondeb hwn yn caniatáu ar gyfer ffenestr broses ehangach yn ystod Planareiddio Cemegol-Mecanyddol (CMP) ac ysgythru sych, sy'n cyfateb yn uniongyrchol i gynllun mwy cadarn.lefel cynnyrch afrlladen (WLY)ar gyfer -electroneg gradd ddiwydiannol.

Tagiau poblogaidd: afrlladen strwythurol silicon, gweithgynhyrchwyr wafferi strwythurol silicon Tsieina, cyflenwyr, ffatri